国家自然科学基金杰出科学家浙江行

                暨科学仪器类项目成果展

2019年11月28日-30日，国家自然科学基金杰出科学家浙江行（暨科学仪器类项目成果展）

年底总结会在嘉兴成功召开。

期间在夏洋的陪同下基金委高瑞平主任、吕达仁院士、戴琼海院士出席参观；

其中长光所原副所长申德振、半导体所原副所长俞育德、

电工所副所长韩立、北京大学教授张志勇、中山大学教授刘阳辉、复旦大学教授孙清清、

浙江大学教授王宏涛等专家参加专题研讨会.

专家及项目组成员合影

一百多位专家及项目组成员于29号去往南湖之畔，参观了国家自然科学基金成果展、

及科民电子展出的双腔ALD、等离子体ALD、集束薄膜沉积、光刻机等高端仪器设备，

并产生了浓厚的兴趣，达成了采购意向

。

项目负责人夏洋为相关专家介绍设备研发亮点

科民双腔ALD设备

科民等离子体ALD设备

科民集束薄膜沉积设备

科民光刻机